3D露光設備のコア技術
デジタルイメージング技術
TIの図形発生器-デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)チップを利 用して、デジタルイメージを生成します。 DMDは、80万或は200万のマイ クロミラーからなり、DMDスポットの範囲で、方型ドットの鮮鋭さやシャ ープネスが保証できます。この最新デジタル露光システムは、既に業界 の新しい基準になっています。
375ナノメートルレザー発生器
工業レベル375ナノメートルカップリングレーザー発生器であります。独 自に開発したレーザーイメージングシステムで、375ナノメートルカップ リングレーザー発生器のレーザー利用率を従来の30%から現在の50% まで引き上げています。
高精度の光学エンジン
DLP(Digital light processing)光学システムは、UVレーザー光源を使 用し、出力されるレーザーは特種コリメータレンズによりDMDに対する 非常に均一な照明を実現し、最後に投影レンズでイメージの出力を実 現します。投影レンズは、紫外線特種光学材料を使用する雙テレセント リックレンズで、低いひずみと高い透過率という特徴があります。
高精度運動システム
±1μm運動制御システム; 運動誤差のリアルタイム補償システム