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半導体ソリューション

半导体先进封装，非硅基MEMS（微纳LDI光刻设备、材料及工艺）

 
半導体ソリューション
圧電単結晶薄膜ウェハ
単結晶圧電薄膜成膜 高温高真空度で、単結晶圧電薄膜のを実現、SiベースCMOSプロセスに適応
半導体の先進パッケージフォトリソグラフィー
ウェハレベルパッケージフォトリソグラフィ機器 大焦点深度、リアルタイムフォーカスの投影フォトリソグラフィーシステム、FOWLPとSIPパッケージの合格率を大幅に向上
非シリコンベースMEMSフォトリソグラフィのソリューション案
非シリコンベースMEMSフォトリソグラフィ機器 両面パネル/R 2 R投影フォトリソグラフィーシステムで、アライメントの精度が高く、生産能力も良い

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