DI曝光机

LDI曝光机通常将多个DMD曝光头独立安装在龙门架上。在LDI曝光机作业过程中，当DMD曝光头出现故障需要更换时，需要停机维修，在更换新的DMD曝光头后，需要配合CCD相机对DMD曝光头进行多项调试，比如光斑完整性与均匀性调试、镜头倍率及角度调试、焦面调试、不同DMD曝光头之间曝光强度补偿调试、不同波段光源的测量、DMD曝光头与DMD曝光头关系标定以及单双向拼接调试等。现有的LDI曝光机在更换DMD曝光头后，调试时间较长，从而严重影响作业效率。

我司的LDI曝光机中，研发人员对DMD进行了模块化设计。具体来说，DMD曝光头和CCD相机集成设置在一个安装架上，当使用中的DMD曝光头和/或CCD相机出现故障时，可以通过该安装调试机构，直接替换为调试好的DMD曝光头和CCD相机，极大的缩短了LDI曝光机的维修时间。